1月26日,臺灣南部科學工業園區(STSP),臺積電的Fab 18晶圓廠一期工程順利奠基。這是臺積電在臺灣的第四座300mm晶圓廠,也將首次投產5nm新工藝。
臺積電計劃2019年第一季度完成新工廠的建設,并開始設備遷入,2019年第二季度試產,2020年初投入5nm的批量生產。
Fab 18的二期工程將在今年第三季度開工,2020年投入量產,三期工程則計劃2019年第三季度建設,2021年量產。
臺積電表示,三期工程全部投產后,Fab 18的年產能將達到100萬塊300mm晶圓。
將于今年6月退休的臺積電董事長張忠謀最后一次參加如此重要的開工儀式。他表示:“Fab 18代表著臺積電的三個重要承諾:對未來發展的承諾,對持續推動技術進步的承諾,對臺灣的承諾。5nm技術投資預計7000億臺幣(約合人民幣億1520元),其中Fab 18的投資將超過5000億臺幣(約合人民幣1080億元)。”
臺積電目前在STSP有超過1萬名員工,Fab 18全部完工后可提供超過1.4萬個工作崗位。
臺積電5nm FinFET工藝同時針對高性能計算和移動應用優化,首次引入EUV極紫外光刻,減少多重曝光的復雜性,并能更好地縮小芯片面積。
臺積電還重申,3nm工廠未來也會設在臺灣本土的STSP,不會前往美國。
按照張忠謀此前說法,臺積電將在2020年開工建設3nm工廠。
臺積電5nm工廠規劃圖