“中芯國際北京廠經過5年多的努力，幫助國內裝備、材料及零部件企業實現了技術成果的產業化，逐步打破國外廠商的技術封鎖和壟斷。”當中芯北方集成電路制造（北京）有限公司總經理張昕在日前于寧波北侖舉辦的“中國半導體材料及零部件發展2017年會”上說出上述一番話時，與會的國內300多名半導體材料及零部件供應商代表的臉上無不流露出興奮的神情，曾經是國內半導體產業鏈最弱環節的國產材料和零部件，終于可以堂而皇之地進入下游集成電路制造企業了。

國產半導體材料產業增長態勢明顯

材料和零部件作為半導體產業鏈的重要一環，在整個產業發展中發揮著重要的基礎性支撐作用。近年來，國家和企業不斷加大在半導體材料領域的投入，資料顯示，2015-2016年兩年累計研發投入38.3億元，是2005-2009年5年間年均投入的7.1倍；2015-2016年兩年累計產業發展投入41.5億元，已達到前5年總體投入的1/2。

集成電路材料和零部件產業技術創新戰略聯盟秘書長石瑛介紹說，由于持續的投入及不斷創新，近年來，中國半導體制造材料產業保持持續增長態勢。2008年之前，8~12英寸晶圓制造材料幾乎100%依賴進口，到2016年年底，FAB廠單廠采購比例超過50%的材料品種已達27種，其中包括電子氣體、CMP拋光液、靶材、光刻膠、工藝化學品及硅片。2016年，中國半導體材料企業銷售收入達到256億元。預計2018年后，中國將成為全球第三大市場。

“到2020年，我國半導體材料產業規模化、集聚化發展態勢將基本形成，同時也將建成較為完善的新材料標準體系，形成一批具有國際影響力的新材料公司。到2021年，國內半導體材料市場規模將突破1200億元，其中300mm產能的材料市場將超過70%，小于20納米工藝的材料市場將超過30%。本地材料市場占有率將超過50%，部分材料將進入國際材料采購體系。”這些數據，對石瑛來說早已了然于胸。

加快本地供應鏈形成 上下游企業展開合作

材料供應鏈的本土化，不僅有利于制造成本的控制、服務的快速及時響應、技術的安全可控，它所形成的產業協同效應好處更多。

石瑛介紹說，目前，我國在集成電路制造用硅材料、掩模、電子氣體、工藝化學品、光刻膠、拋光材料、靶材、封裝材料領域已經有一批相關的企業，也擁有生產這些材料的有色金屬、有機、無機化工等礦產資源優勢，關鍵基礎原材料的品質提升也逐漸進入行業視線。

張昕提供的數據對石瑛的介紹進行了詮釋：“截至目前，在國產化設備方面，中芯國際北京廠國產化工藝占比15.6%；在國產材料領域，采購比例達到11.3%；在國產零部件領域，采購比例達到16.2%。”

然而，進入集成電路制造企業供應鏈是一個漫長而系統的工作，即使國內半導體材料企業已經有了替代產品，但若客戶不了解，就不會使用。因此，與會代表建議，半導體材料及零部件企業要在品質、物流等管理上和客戶保持一致，還要讓上游企業的工程、技術、質量等部門與下游客戶全方位對接，尊重客戶每個部門的意見和建議。他們希望上游供應商和下游制造企業進行彈性合作、戰略合作，下游制造企業能夠定期指導工作。同時，國內材料企業也能和客戶共同開發新產品和新配方。

引導行業整合和國內外并購發展

通過并購方式加快企業自身的發展速度，從而帶動整個材料業的發展，也是近年來國內半導體材料產業呈現出的新特點。

石瑛給記者羅列了以下幾個成功案例：

2014年5月，上海新傲與法國Soitec公司結成合作伙伴關系，在中國提供一流的SOI晶圓制造能力，并面向全球為Soitec生產200mm SOI晶圓片。未來雙方將繼續擴大合作范圍，發揮協同優勢，在中國建立SOI生態系統。

2016年8月，雅克科技收購韓國UP Chemical的100%股權，生產CVD/ALD前驅體；2017年10月收購成都科美特特種氣體有限公司90%股權，主要生產六氟化硫和四氟化碳。

2017年3月，巨化集團收購德國漢高集團環氧模塑料業務100%股權以及相關知識產權、著名商標、研發資產和海內外營銷渠道。

石瑛表示，跨國兼并重組不但可以吸收國際先進技術，擁有業內著名品牌，更可以在很大程度上提高國內半導體材料企業在人才、技術、質量、服務方面的競爭力。

與會不少代表表示，他們希望通過集成電路材料和零部件產業技術創新聯盟尋找合適的國際企業進行合作，如通過技術培訓的方式，學習國外公司先進的生產技術和管理經驗，從而進行產品更新、結構調整、品質提升、營銷創新和售后服務的升級。

政策引導 打造企業發展資本通道

雖然國內半導體材料產業發展近來漸入佳境，但未來的路仍充滿荊棘。本次會議，演講嘉賓說得最多的一個詞是“情懷”，默默耕耘在這個領域的企業家不愿放棄這個陣地，但僅靠情懷又無濟于事。為此，他們呼吁，國內材料和零部件企業應該開展合作，優勢互補，共同攻關。同時，國家也應出臺相關政策，鼓勵下游制造企業積極使用國產材料和零部件，在生產線上配置一定比例的國產材料和零部件。安集微電子（上海）有限公司董事長兼首席執行官王淑敏表示，目前國家針對材料企業有一些優惠政策，但申請、審批流程很繁瑣，應該減少中間環節。也有企業代表建議成立公共的檢測平臺，政府適當補貼平臺的運行。

任何產業的發展都離不開資金的支持，技術密集型的半導體材料產業更是如此。為此，集成電路材料和零部件產業技術創新戰略聯盟發起設立了盛芯材料產業投資基金，致力于成為我國集成電路材料領域的行業引導基金。基金一期已于近日設立完成，規模為2億元，出資人包括業內四家上市公司（浙江巨化、南大光電、上海新陽、金力泰），以及具有集成電路業內豐富投資經驗的寧波芯空間。石瑛強調，盛芯基金將依托產業創新聯盟豐富的企業資源和產業鏈合作優勢，結合戰略合作伙伴廣泛的海外資源及02專項和國家相關科技計劃產業化項目庫資源，海內外多渠道廣泛收集項目源，推動圍繞國內優勢企業的產業整合。截至目前，基金一期投資業務已有序展開，已儲備十余個擬投資項目。