半導體材料供應大廠英特格(Entegris)宣布,將擴建其在中國臺灣新竹的臺灣技術研發中心(TTC),計劃包含專門開發過濾媒介的微污染控制實驗室(MCL),協助客戶在邏輯、DRAM和3DNAND裝置制造上的挑戰。
英特格指出,隨著半導體制程對于品質精進的要求,制程環境的偵測與控制也隨之延伸進化,當制程演進到納米等級,空氣中原本被忽略的微小氣狀分子污染物(AirborneMolecularContamination;AMC),開始對制程良率及產品可靠度產生了影響。
英特格宣布將擴建其在臺灣新竹的臺灣技術研發中心,擴建計劃包含專門開發過濾媒介的微污染控制實驗室,同時也是亞洲應用開發實驗室(AADL)遷移后的新址,該實驗室主要從事微量金屬、有機污染物和納米微粒的分析。
此擴建計劃將擴大中心現有的研發、工業化生產和試產能力,同時建立單一的廠外合作據點,來滿足客戶伙伴對特用化學品、CMP和液體過濾上的需求。
英特格全球業務副總謝俊安表示,隨著器件微縮持續是當今裝置高效構建的主要驅動力,制程材料與設備間的互動及相依性正位居關鍵的演化點上。將業界內最專業頂尖的人才齊聚在這座最先進的研發中心內,英特格將更有能力來滿足這些需求。
擴建MCL設施后,將我們在液體過濾、特用化學品和CMP領域的核心專才整合,提供更完整的分析服務與技術開發解決方案,協助客戶伙伴在邏輯、DRAM和3DNAND裝置制造上的挑戰。
英特格成立于1966年,50年來為最先進的制造環境提供材料和解決方案提升良率,在半導體及其他高科技行業的污染控制、關鍵材料處理與先進制程材料方面處于市場領先位置。
謝俊安補充,2016年的銷售額為12億美元,其中半導體收入占總收入的77%。半導體行業是英特格主要服務的領域,此外還有數據存儲、顯示、太陽能、姓名科學、環境可持續等領域。