日本電子零組件廠從家電轉移到手機與汽車零組件后，積極投入微機電（MEMS）傳感器研發，推出各種超小型與高精度的傳感器，擴大傳感器的應用；隨物聯網（IoT）概念興起，傳感器在物聯網社會中將扮演更重要的角色。

微機電傳感器依用途大致可分成二類：一，運動與方位傳感器，如羅盤功能用地磁傳感器，運動狀態用速度與加速度傳感器、傾斜傳感器、陀螺儀等，常用在導航系統；二，大氣資料傳感器，如溫度、濕度、壓力傳感器等，除氣象用途外，也可用在醫療保健又或汽車控制用途。

北陸電氣工業（HDK）原本便生產多種傳感器，隨微機電傳感器在傳感器領域的重要性漸增，北陸電氣也轉而研發微機電技術，生產微機電傳感器，并將傳感器與基板等其他零組件、以及必須軟體，組成模組一起銷售，擴大相關事業。目前該社以超小型濕度傳感器為主力產品。

村田制作所（Murata）踏入微機電領域，始自2012年購并前芬蘭傳感器大廠VTITechnology、改名為Murata ElectronicsOy，接下來開始生產各種運動與方位用途的微機電傳感器，用在汽車、醫療保健、電力、生化研究、IT等各種領域。

目前村田強調的微機電傳感器，是全球首款表面實裝型角加速度傳感器，長5.2毫米（mm）、寬2.5毫米、高0.8毫米，可望取代過去的螺絲端子型或圓筒型角加速度傳感器，讓運動感測系統的設計更為多元。

TDK、Alps電氣（Alps Electric）與羅姆半導體（Rohm Semiconductor）的微機電傳感器則以壓力或濕度感測為主，可感測高度差200毫米等級的微小氣壓差，足以精確測量高度。這些廠同時積極與運動傳感器廠合作，推出結合運動方位感測與氣壓感測的傳感器模組，供智能型手機或穿戴式裝置應用。

而Mitsumi電機（Mitsumi Electric）與日本航空電子工業（JAE）等二廠，目前正在積極開發微機電傳感器，用于汽車及基礎建設市場。