歐盟宣布將增加4條先進生產(chǎn)線建設(shè)計劃,包括發(fā)光二極管和450mm晶圓等。機上此前,歐盟宣布建設(shè)全耗盡絕緣體上硅(FDSOI)試生產(chǎn)線。該五條芯片試生產(chǎn)線項目是歐盟于5月23日宣布的“歐洲電子策略”的一部分,共涉及來自20個國家的128個公司,總投資將超過7億歐元,包括歐盟各成員國和工業(yè)界的投資,其中歐盟將出資1億歐元。五個項目中的大部分從2013年啟動運行,持續(xù)到2015年底結(jié)束。
五條試生產(chǎn)線項目分別是:
(1)AGATE試生產(chǎn)線:該項目由法國晶圓制造公司Soitec公司領(lǐng)導(dǎo),包括10家公司,目標(biāo)是為功率半導(dǎo)體器件和發(fā)光二極管生產(chǎn)低成本的硅基氮化鎵(GaN)晶圓,計劃于2015年12月結(jié)束。
(2)E450EDL試生產(chǎn)線,該項目由比利時微電子研究中心(IMEC)和荷蘭艾司摩爾(ASML)公司領(lǐng)導(dǎo),包括來自11個國家的43家公司,目標(biāo)是為450mm晶圓驗證設(shè)備、材料和前道工藝,計劃于2016年9月結(jié)束。
(3)EPPL試生產(chǎn)線:該項目由位于德國和奧地利的英飛凌(Infineon)公司領(lǐng)導(dǎo),包括31家公司,目標(biāo)是開發(fā)功率器件用薄晶圓,計劃于2016年3月結(jié)束。
(4)Lab4MEMS試生產(chǎn)線。主要工業(yè)試生產(chǎn)線分別位于ST半導(dǎo)體公司的兩個工廠:前道工藝位于意大利的Agrate,后道工藝位于歐洲Malta,由分布在9個國家的研究中心、小企業(yè)和研究實驗室共同參與支持。該項目于2013年1月啟動,計劃運行30個月。
(5)Places2Be試生產(chǎn)線。該項目為期三年,總預(yù)算3.6億歐元(大約4.65億美元),促進歐洲實現(xiàn)FDSOI制造工藝的工業(yè)化。該項目由在FDSOI領(lǐng)域處于領(lǐng)先地位的ST公司領(lǐng)導(dǎo),并將在ST位于法國克羅爾市的晶圓廠和格羅方德(GLOBALFOUNDRIES)公司位于德國德累斯頓市的第一生產(chǎn)廠內(nèi)建立試生產(chǎn)線。包括23個研究單位,目標(biāo)是通過解決產(chǎn)量和應(yīng)用等挑戰(zhàn),以將該技術(shù)帶入工業(yè)界。
歐盟副主席尼莉·克羅斯說:“我們沒有任何時間可以浪費了,這些計劃對實現(xiàn)歐洲電子策略做出了實質(zhì)性的貢獻。到2013年底,我希望看到工業(yè)界實現(xiàn)芯片制造量翻倍、生產(chǎn)量達全球產(chǎn)量20%的目標(biāo)”。
為此,5月29日克羅斯主持召開了各國家和地區(qū)部長會議,歐洲主要半導(dǎo)體制造商和世界知名研究人員也參與其中,共同商討策略的實施。