2017年MEMS高級(jí)培訓(xùn)課程主要講授MEMS成熟器件和前沿器件的設(shè)計(jì)、制造、封測和應(yīng)用知識(shí)，同時(shí)對(duì)MEMS制造工藝的特殊性、重點(diǎn)難點(diǎn)和解決方案進(jìn)行深入的講解，最后還將帶領(lǐng)學(xué)員實(shí)地參觀上海微系統(tǒng)所的微系統(tǒng)技術(shù)加工服務(wù)平臺(tái)。
主辦單位：中科院上海微系統(tǒng)所、麥姆斯咨詢
協(xié)辦單位：上海市物聯(lián)網(wǎng)行業(yè)協(xié)會(huì)、新微創(chuàng)源孵化器、華強(qiáng)電子網(wǎng)、華強(qiáng)旗艦
一、課程設(shè)置
麥姆斯咨詢于2016年10月在無錫舉行了第一次MEMS高級(jí)培訓(xùn)課程，報(bào)名非常火爆。為繼續(xù)為MEMS產(chǎn)業(yè)界相關(guān)人員提升專業(yè)技術(shù)能力，增強(qiáng)傳感器創(chuàng)新能力，我們?cè)?016年培訓(xùn)的基礎(chǔ)上對(duì)課程和師資進(jìn)行了更優(yōu)化的選擇和設(shè)置，更加注重理論與實(shí)踐的結(jié)合，以期為學(xué)員帶來最大化的收獲。
2017年MEMS高級(jí)培訓(xùn)課程主要講授MEMS成熟器件（如加速度計(jì)、MEMS麥克風(fēng)、壓力傳感器、陀螺儀、紅外傳感器）和前沿器件（如微流控芯片、生物傳感器、電化學(xué)傳感器）的設(shè)計(jì)、制造、封測和應(yīng)用知識(shí)，同時(shí)對(duì)MEMS制造工藝的特殊性、重點(diǎn)難點(diǎn)和解決方案進(jìn)行深入的講解，最后還將帶領(lǐng)學(xué)員實(shí)地參觀上海微系統(tǒng)所的微系統(tǒng)技術(shù)加工服務(wù)平臺(tái)。
二、培訓(xùn)對(duì)象
主要面向高等院校學(xué)生和老師，MEMS設(shè)計(jì)、制造、封測及終端應(yīng)用相關(guān)企業(yè)的初級(jí)和中級(jí)技術(shù)人員以及高級(jí)管理人員，也歡迎參加其它希望了解MEMS技術(shù)和產(chǎn)業(yè)的非MEMS背景人員。
三、培訓(xùn)時(shí)間
2017年10月20日全天、10月21日全天和10月22日上午，共計(jì)2.5天。
本課程贈(zèng)送上海微系統(tǒng)所的微系統(tǒng)技術(shù)加工服務(wù)平臺(tái)實(shí)地參觀：時(shí)間：10月22日下午；地點(diǎn)：上海市宜山路800號(hào)。
日程安排：
10月19日下午15:00-17:00或10月20日上午8:00-8:25報(bào)到。
10月20日至10月22日期間的上課時(shí)間：
上午：8:30-12:00
下午：13:00-16:30
四、培訓(xùn)地點(diǎn)
中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所：上海市長寧路865號(hào)
五、課程內(nèi)容
課程一：傳統(tǒng)MEMS器件及應(yīng)用
講師：中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 李昕欣 研究室主任/研究員
本課程介紹MEMS壓力傳感器、MEMS麥克風(fēng)和紅外熱電堆傳感器的產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)關(guān)鍵技術(shù)和典型應(yīng)用，重點(diǎn)講解李昕欣小組國際獨(dú)創(chuàng)“微創(chuàng)手術(shù)（MIS）”MEMS工藝。該項(xiàng)工藝可在半導(dǎo)體代工廠量產(chǎn)，與Bosch的APS工藝和意法半導(dǎo)體的VENSENS工藝同為相互競爭的第三代單芯片MEMS通用工藝。
課程目錄：
1. MEMS壓力傳感器的設(shè)計(jì)、制造、封裝和測試，以及典型應(yīng)用
2. MEMS麥克風(fēng)的設(shè)計(jì)、制造、封裝和測試，以及典型應(yīng)用
3. 紅外熱電堆傳感器的設(shè)計(jì)、制造、封裝和測試，以及典型應(yīng)用
講師：中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 楊恒 研究員
本課程介紹MEMS諧振器、陀螺儀、加速度計(jì)的產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)關(guān)鍵技術(shù)和典型應(yīng)用，重點(diǎn)講解上海微系統(tǒng)所最新的MEMS技術(shù)成果。
課程目錄：
1. MEMS諧振器的設(shè)計(jì)、制造、封裝和測試，以及典型應(yīng)用
2. 陀螺儀的設(shè)計(jì)、制造、封裝和測試，以及典型應(yīng)用
3. 加速度計(jì)的設(shè)計(jì)、制造、封裝和測試，以及典型應(yīng)用
課程二：前沿MEMS器件及其應(yīng)用
講師：中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 金慶輝 研究員
本課程主要針對(duì)一些前沿的生物和化學(xué)MEMS傳感器技術(shù)，以及典型應(yīng)用進(jìn)行講解，如生物傳感器、電化學(xué)傳感器、環(huán)境監(jiān)測和食品安全監(jiān)測物聯(lián)網(wǎng)等。
課程目錄：
1. 生物傳感器技術(shù)及典型應(yīng)用
2. 電化學(xué)傳感器傳感器技術(shù)及典型應(yīng)用
3. 環(huán)境監(jiān)測和食品安全檢測
講師：北京大學(xué) 陳兢 教授/博士生導(dǎo)師
本課程介紹不同基底的微流控芯片技術(shù)，以及典型應(yīng)用，重點(diǎn)講解適合于低成本、大批量生產(chǎn)的微流控制造技術(shù)。
課程目錄：
1. 微流控技術(shù)概述
2. 微流控芯片常用材料及加工方法
3. 微流控與POCT
課程三：MEMS制造工藝
講師：中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 馮飛 研究員
本課程概述CMOS制造工藝，重點(diǎn)講解MEMS制造工藝，其中MEMS制造工藝包括體微加工技術(shù)、表面微加工技術(shù)和CMOS MEMS技術(shù)，以及全球主要MEMS代工廠和中國科研機(jī)構(gòu)MEMS工藝線。
課程目錄：
1. CMOS制造工藝
2. MEMS制造工藝
3. 全球主要MEMS代工廠
4. 中國科研機(jī)構(gòu)MEMS工藝線
5. 上海微系統(tǒng)所工藝能力介紹
講師：中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 戈肖鴻 高級(jí)工程師
本課程帶領(lǐng)學(xué)員實(shí)地參觀上海微系統(tǒng)所的微系統(tǒng)技術(shù)加工服務(wù)平臺(tái)。該平臺(tái)由微系統(tǒng)加工平臺(tái)和微系統(tǒng)封裝平臺(tái)兩部分組成，分別位于上海微系統(tǒng)所漕河涇園區(qū)內(nèi)主樓的一層和二層凈化間內(nèi)。整個(gè)平臺(tái)擁有114臺(tái)套先進(jìn)的大中型設(shè)備，總價(jià)值達(dá)1.1億元，可以完成從微芯片制造、芯片封裝、器件測試、微系統(tǒng)集成等成套工藝，為微系統(tǒng)研究提供有力的技術(shù)保障。
6、培訓(xùn)費(fèi)用和報(bào)名方式咨詢
請(qǐng)按照以下聯(lián)系方式發(fā)送電子郵件給我們，郵件題目格式為：報(bào)名+MEMS高級(jí)培訓(xùn)課程+單位名稱+人數(shù)。
麥姆斯咨詢
聯(lián)系人一：吳越
電 話：15190305084
E-mail：[email protected]
麥姆斯咨詢
聯(lián)系人二：郭蕾
電 話：13914101112
E-mail：[email protected]
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