在智能化電子產(chǎn)品不斷涌現(xiàn),物聯(lián)網(wǎng)智能終端與整機(jī)產(chǎn)品制造市場穩(wěn)定發(fā)展的帶動下,對傳感器要求更小型化、智能化、低功耗、高集成度、可大批量產(chǎn)及低成本,MEMS傳感器便能解決這一市場需求,在近幾年技術(shù)和產(chǎn)量都得到了高速的發(fā)展。
MEMS傳感器已經(jīng)在我們每天使用的各類設(shè)備上數(shù)以百萬計(jì)地使用著。在智能手機(jī)上,MEMS傳感器提供在聲音性能、場景切換、手勢識別、方向定位、以及溫度/壓力/濕度傳感器等廣泛的應(yīng)用;在汽車上,MEMS傳感器借助氣囊碰撞傳感器、胎壓監(jiān)測系統(tǒng)(TPMS)和車輛穩(wěn)定性控制增強(qiáng)車輛的性能;醫(yī)療領(lǐng)域,通過MEMS傳感器成功研制出微型胰島素注射泵,并使心臟搭橋移植和人工細(xì)胞組織成為現(xiàn)實(shí)中可實(shí)際使用的治療方式;在可穿戴應(yīng)用中,MEMS傳感器可實(shí)現(xiàn)運(yùn)動追蹤、心跳速率測量等;在城市建設(shè)領(lǐng)域,MEMS傳感器可以協(xié)助監(jiān)測基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)的穩(wěn)定性,營造充滿活力的反饋系統(tǒng)……。MEMS傳感器已經(jīng)被廣泛地集成到汽車電子、智能家居、智能電網(wǎng)等物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用領(lǐng)域。
IHS MEMS及傳感器業(yè)務(wù)總監(jiān)Jérémie Bouchaud指出,在今后5到10年內(nèi),智能手機(jī)以及平板電腦仍然是MEMS主要應(yīng)用領(lǐng)域。今后MEMS的應(yīng)用領(lǐng)域?qū)⒅饾u擴(kuò)大,包括正在興起的可穿戴設(shè)備、可擁有百余個MEMS傳感器的汽車電子,和人們生活息息相關(guān)的智能家居和智能城市都是需要大力挖掘的市場。“我們認(rèn)為會有可穿戴設(shè)備的應(yīng)用,但是它的比例還比較小,目前還不到10%,在這段時(shí)間內(nèi)還是不會超過智能手機(jī)應(yīng)用。在汽車應(yīng)用方面會繼續(xù)看到MEMS傳感器的應(yīng)用,因?yàn)楦叨说钠囍邪l(fā)現(xiàn)會有一百多個MEMS傳感器,所以汽車是今后可以發(fā)展應(yīng)用的領(lǐng)域。還有關(guān)于物聯(lián)網(wǎng),我認(rèn)為物聯(lián)網(wǎng)在MEMS傳感器應(yīng)用方面會有很好的發(fā)展 。” 他表示。
在手持終端應(yīng)用領(lǐng)域,Jérémie指出將會出現(xiàn)一些新興傳感器,包括指紋傳感器,環(huán)境(濕度、氣體、 紫外線)傳感器,健康(脈搏、血氧)傳感器,熱成像傳感器等。此外MEMS麥克風(fēng)、運(yùn)動傳感器包括加速計(jì)、磁力計(jì)、陀螺儀、壓力傳感器以及不同類別的運(yùn)動傳感器組合等市場均有較好的成長表現(xiàn)。
近幾年MEMS市場發(fā)展迅猛,逐漸出現(xiàn)了多元化發(fā)展的局面。例如單位出貨量增長,但平均售價(jià)也迅速下跌;傳統(tǒng)制造廠商與新興無晶圓MEMS廠商的競爭;新興MEMS制造工藝和技術(shù);多起行業(yè)并購等等。 “通過不斷的技術(shù)創(chuàng)新以及多元化發(fā)展,輔以穩(wěn)健可靠的批量生產(chǎn)供應(yīng)鏈和強(qiáng)大的合作關(guān)系,MEMS器件及傳感器廠商將推動物聯(lián)網(wǎng)市場的增長。在亞太等地區(qū)市場上,地區(qū)經(jīng)濟(jì)特點(diǎn)必須加以考慮,這樣才能研發(fā)適合的產(chǎn)品,提供適合的支持模式。” Jérémie Bouchaud指出。
近年來,MEMS的材料應(yīng)用上有被非硅材料逐漸替代的現(xiàn)象,學(xué)術(shù)研究人員現(xiàn)在開始專注于開發(fā)聚合物和紙基微型器件。利用這些材料開發(fā)的器件,不僅工藝環(huán)保,而且制作設(shè)備簡單、成本較低。相對硅材料,它們大幅縮減了研發(fā)經(jīng)費(fèi)預(yù)算。許多聚合物和紙基微型器件的創(chuàng)新都指向了醫(yī)療應(yīng)用,對該領(lǐng)域來說,生物相容性和材料的柔性是基本要求。
紙基和聚合物微型器件的功能和性能開發(fā),目前還處于相對早期的階段,這類器件的生產(chǎn)設(shè)施現(xiàn)今也還沒有開發(fā)出來。這些新技術(shù)的成熟和商業(yè)化,可能還需要超過10年的時(shí)間。所以,基于硅材料的微型器件研究,還有很多創(chuàng)新工作要做,不然就會面臨發(fā)展停滯的風(fēng)險(xiǎn)。
MEMS傳感器中國市場狀況
中國作為全球最大的電子產(chǎn)品生產(chǎn)基地,消耗了全球四分之一的MEMS器件,吸引了全球的目光。但是就目前來看,中國大部分MEMS及傳感器仍依賴進(jìn)口,在2015年全球top 50 MEMS供應(yīng)商中國廠商僅有三家,瑞聲科技(AAC)、歌爾聲學(xué)(Goertek)、共達(dá)電聲(Gettop)和美新半導(dǎo)體(MEMSIC)。
然而,排名稍微靠前AAC和Goertek主要靠購買英飛凌的裸片來生產(chǎn)MEMS麥克風(fēng)。不過近年來,國內(nèi)對MEMS慣性傳感器的研發(fā)熱度很高,而且大多集中在國內(nèi)的頂尖研究機(jī)構(gòu)。清華大學(xué)、北京大學(xué)、中科院、電子26所等,還有一些海外歸國人員創(chuàng)下了一些MEMS傳感器企業(yè)如美新半導(dǎo)體、蘇州敏芯微電子、深迪半導(dǎo)體(上海)有限公司等。中國的MEMS產(chǎn)業(yè)生態(tài)系統(tǒng)也正逐步完善,從研發(fā)、開發(fā)、設(shè)計(jì)、代工、封測到應(yīng)用,產(chǎn)業(yè)鏈已基本形成,上海、蘇州、無錫都形成了研發(fā)中心。
這些MEMS企業(yè)雖然出貨量低,但是在一些低端消費(fèi)消域還是有些竟?fàn)幜α?。MEMS麥克風(fēng)供應(yīng)商AAC, Goertek等通過購買英飛凌的MEMS和ASIC芯片然后自己封裝。美新(MEMSIC)的加速度計(jì)和磁力計(jì),深迪(Senodia)的磁力計(jì)和陀螺儀,明皜(MiraMEMS)加速度計(jì)、磁力計(jì)、6軸電子羅盤,矽睿(QST)加速度計(jì)和磁力計(jì)。
由于MEMS傳感器在消費(fèi)端的應(yīng)用已經(jīng)由高端市場逐步擴(kuò)散到一些低端手機(jī)、可穿戴式設(shè)備。這一塊的應(yīng)用市場未來也很大。中國MEMS公司由于與國際大公司的技術(shù)差距,未來會集中“進(jìn)攻”低端消費(fèi)MEMS領(lǐng)域。在這些要求不高的領(lǐng)域還是有很強(qiáng)的竟?fàn)幜Α?/p>
MEMS前端研發(fā)需要大量的資金與時(shí)間,品種又過多,MEMS 器件很難贏利。這些廠家的最終命運(yùn)一定是要么在低端消費(fèi)品市場的竟?fàn)幹忻摲f而出,要么就是積累技術(shù)最終被歌爾聲學(xué)這類廠家收購。
全球十大MEMS廠商
接下來小編為你盤點(diǎn)全球MEMS傳感器十大廠商及相關(guān)產(chǎn)品(素材收集于網(wǎng)絡(luò)):
Top 10:Panasonic(松下)
松下電器,正式名稱為Panasonic株式會社(日語:パナソニック株式會社,Panasonic Corporation),日本最大的電機(jī)制造商,也是日本前八大電機(jī)企業(yè)之一(松下電器、索尼、夏普、NEC、富士通、日立、東芝、三菱電機(jī)),總部位 于日本大阪府門真市。
Panasonic的中文為“松下”(早期叫National,1986年開始逐步更改為Panasonic,2008年10月1日起全部統(tǒng)一為 Panasonic)由日本松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社自1918年松下幸之助創(chuàng)業(yè),發(fā)展品牌產(chǎn)品涉及家電、數(shù)碼視聽電子、辦公產(chǎn)品、航空等諸多領(lǐng)域而享譽(yù)全 球。
松下集團(tuán)是全球性電子廠商,從事各種電器產(chǎn)品的生產(chǎn)、銷售等事業(yè)活動。1978年,中國國家領(lǐng)導(dǎo)人參觀了松下集團(tuán)日本電視機(jī)工廠。在雙方會談中,創(chuàng)業(yè) 者松下幸之助表達(dá)了為中國做貢獻(xiàn)的決心。隨后,松下集團(tuán)進(jìn)入了中國事業(yè)的起始階段。在這幾年中,松下集團(tuán)致力于產(chǎn)品出口以及對中國工廠的技術(shù)合作,并于 1987年設(shè)立了第一家合資工廠。截至今日,松下集團(tuán)在中國的事業(yè)活動涉及研究開發(fā)、制造、銷售、服務(wù)、物流、宣傳等多個方面。
松下電器半導(dǎo)體有限公司(Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd.),是全球首屈一指的半導(dǎo)體供應(yīng)商。并提供尖端半導(dǎo)體解決方案及軟件。
相關(guān)產(chǎn)品:MEMS陀螺儀傳感器EWTS8RK,EWTS8RN
Top9:Denso(電裝)
株式會社電裝(株式會社デンソー,DENSO CORPORATION)1949年12月,作為豐田汽車工業(yè)株式會社的零部件工廠之一的電裝,從豐田集團(tuán)獨(dú)立分離出來,以1500萬日元的資本金和 1445名員工的規(guī)模,在日本愛知縣刈谷市成立了“日本株式會社電裝”,并開始了運(yùn)營。如今,電裝已發(fā)展到日本排名第一、世界頂級的汽車零部件供應(yīng)商集團(tuán) 公司,在全球30多個國家和地區(qū)設(shè)有184家關(guān)聯(lián)公司,集團(tuán)員工數(shù)達(dá)139842名 (截至2014年3月31日) 。
株式會社電裝DENSO CORPORATION是世界汽車零部件及系統(tǒng)的頂級供應(yīng)商。為世界頂級汽車技術(shù)、系統(tǒng)以及零部件的全球性供應(yīng)商,電裝在環(huán)境保護(hù)、發(fā)動機(jī)管理、車身電子 產(chǎn)品、駕駛控制與安全、信息和通訊等領(lǐng)域,成為全球主要整車生產(chǎn)商可信賴的合作伙伴。電裝提供多樣化的產(chǎn)品及其售后服務(wù),包括汽車空調(diào)設(shè)備和供熱系統(tǒng)、電 子自動化和電子控制產(chǎn)品、燃油管理系統(tǒng)、散熱器、火花塞、組合儀表、過濾器、產(chǎn)業(yè)機(jī)器人、電信產(chǎn)品以及信息處理設(shè)備。
作為電裝在中國的統(tǒng)括公司——電裝(中國)投資有限公司成立于2003年。
Top8:Invensense(應(yīng)美盛)
Invensense公司成立于2003年6月,總部位于美國Sunnyvale,測試廠位于臺灣,并在臺灣、韓國、日本、迪拜設(shè)有業(yè)務(wù)處及應(yīng)用支持 服務(wù)處。主要生產(chǎn)的產(chǎn)品為運(yùn)動感測追蹤組件。投資方包括Artiman Ventures、Partech International、Sierra Ventures和高通。
InvenSense為智能型運(yùn)動處理方案的先驅(qū)、全球業(yè)界的領(lǐng)導(dǎo)廠商,驅(qū)動了運(yùn)動感測人機(jī)接口在消費(fèi)性電子產(chǎn)品上的應(yīng)用。InvenSense是針 對掌上型CE產(chǎn)品市場需求,發(fā)展出多軸角速度陀螺儀的先驅(qū)。在2006年,InvenSense便推出世界第一個高效能的雙軸陀螺儀,于2007 年,InvenSense更發(fā)展出針對CE應(yīng)用之業(yè)界最小的雙軸陀螺儀。
Invensense擁有四種專有技術(shù)優(yōu)勢:專利的Nasiri-Fabrication制程,先進(jìn)的MEMS陀螺儀設(shè)計(jì),可提供傳感器訊號處理方案 (signal processing)及運(yùn)作本司運(yùn)動處理平臺(Motion Processing)關(guān)鍵之融合算法技術(shù)(Sensor Fusion)的混合訊號電路系統(tǒng)(mixed-signal circuitry),以及本公司的運(yùn)動處理數(shù)據(jù)庫與運(yùn)動感測應(yīng)用(Motion Application)軟件方案。
相關(guān)產(chǎn)品:六軸重力加速度智能傳感器芯片系列:MPU-6050、MPU-6000、MPU-6555、MPU-6500、ICM-20608
ToP7:Knowles Electroincs(樓氏電子)
樓氏電子(Knowles Electronics)是1946年成立的一家以應(yīng)用為基礎(chǔ)的致力于開發(fā)面向助聽器和其他電子設(shè)備市場的新型產(chǎn)品和組件的技術(shù)公司??偛课挥诿绹晾Z 伊州的艾塔斯卡(Itasca),全球員工超過一萬名,遍布全球 37 個分支機(jī)構(gòu),包括歐洲、亞洲和北美的設(shè)計(jì)中心。從 1974 年開始在亞洲進(jìn)行生產(chǎn)制造,并在中國和馬來西亞建立了世界一流的工廠。
樓氏電子是先進(jìn)的微聲設(shè)備、特種組件以及移動通訊、消費(fèi)電子、醫(yī)療科技、軍事/空間和其它工業(yè)終端市場的人機(jī)界面解決方案的市場領(lǐng)導(dǎo)者和全球供應(yīng)商。提供精確可靠的產(chǎn)品,包括助聽器元件、MEMs(微機(jī)電系統(tǒng))麥克風(fēng)、揚(yáng)聲器、受話器、傳感器、電容器、振蕩器等。
Top4:Avago Technologies(安華高)
安華高科技(Avago Technologies)公司1999年從HP分拆出來,是一家設(shè)計(jì)、研發(fā)并向全球客戶廣泛提供各種模擬半導(dǎo)體設(shè)備的供應(yīng)商,總部分別設(shè)在美國加州圣何 塞和新加坡。Avago Technologies提供模擬、混合信號和光電器件及子系統(tǒng),主要包括光電產(chǎn)品、射頻/微波器件及企業(yè)ASIC三大類產(chǎn)品。
產(chǎn)品組合廣泛多樣,在以下四個主要目標(biāo)市場中擁有約 6500 種產(chǎn)品,即:無線通信、有線基礎(chǔ)設(shè)施、工業(yè)和汽車電子產(chǎn)品以及消費(fèi)品與計(jì)算機(jī)外圍設(shè)備。安華高的產(chǎn)品在這些目標(biāo)市場中可應(yīng)用于移動電話、家用電器、數(shù)據(jù)聯(lián) 網(wǎng)與電信設(shè)備、企業(yè)存儲和服務(wù)器、發(fā)電和再生能源系統(tǒng)、工廠自動化、顯示器、光學(xué)鼠標(biāo)以及打印機(jī)。
2013年,Avago將以66億美元對LSI公司進(jìn)行收購,勢將成為企業(yè)級存儲市場新的一份子。2015年安華高科技以總計(jì)約370億美元的現(xiàn)金和股票收購博通,這是全球芯片業(yè)歷史上最大規(guī)模的一樁并購案,安華高科技有限公司已經(jīng)決定更名為博通有限公司。
相關(guān)產(chǎn)品:體聲波(BAW)濾波器ACPF-7241
Top3:Texas Instruments(德州儀器)
德州儀器(Texas Instruments,簡稱:TI)是一家位于美國德克薩斯州達(dá)拉斯的跨國公司,成立于于1951年,以開發(fā)、制造、銷售半導(dǎo)體和計(jì)算機(jī)技術(shù)聞名于世。 主要從事數(shù)字信號處理與模擬電路方面的研究、制造和銷售。它在25個國家有制造、設(shè)計(jì)或者銷售機(jī)構(gòu)。德州儀器是世界第三大半導(dǎo)體制造商,僅次于英特爾,三 星;是移動電話的第二大芯片供應(yīng)商,僅次于高通;同時(shí)也是在世界范圍內(nèi)的第一大數(shù)字信號處理器(DSPs)和模擬半導(dǎo)體組件的制造商,其產(chǎn)品還包括計(jì)算 器、微控制器以及多核處理器。
2011年收購美國國家半導(dǎo)體(National Semiconductor)之后,TI擁有由約45000種模擬電路產(chǎn)品及客戶設(shè)計(jì)工具組成的投資組合,這使TI成為世界上最大模擬電路元器件生產(chǎn)廠 商。德州儀器在基于移動反射數(shù)字光處理設(shè)備的MEMS銷售方面表現(xiàn)頗佳。
Top2:STmicroelectronicss(意法半導(dǎo)體)
意法半導(dǎo)體集團(tuán)在1987年由意大利的Società Generale Semiconduttori (SGS) Microelettronica與法國湯姆遜(Thomson)公司的半導(dǎo)體分部Thomson Semiconducteurs兩家半導(dǎo)體公司合并而成,該公司自1998年5月湯姆遜撤股后由SGS-THOMSON更名為意法半導(dǎo)體 (STMicroelectronics),總部位于瑞士日內(nèi)瓦。
意法公司銷售收入在半導(dǎo)體工業(yè)第七大高速增長市場之間分布均衡(五大市場占2007年銷售收入的百分比):通信(35%),消費(fèi)(17%),計(jì)算機(jī) (16%),汽車(16%),工業(yè)(16%)。意法半導(dǎo)體擁有世界上最強(qiáng)大的產(chǎn)品陣容,既有知識產(chǎn)權(quán)含量較高的專用產(chǎn)品,也有多領(lǐng)域的創(chuàng)新產(chǎn)品,例如分立 器件、高性能微控制器、安全型智能卡芯片、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件。
意法半導(dǎo)體已經(jīng)公布了與英特爾和Francisco Partners合資成立一個獨(dú)立的半導(dǎo)體公司的合作意向,名為Numonyx的新公司將主要提供消費(fèi)電子和工業(yè)設(shè)備用非易失存儲器解決方案。
2001年起意法半導(dǎo)體涉足于開發(fā)微機(jī)電系統(tǒng),最初的硏究與開發(fā)于意法半導(dǎo)體在Castelletto的工廠中完成,但后來于2006年6月關(guān)閉,微機(jī)電系統(tǒng)活動遷移到位于Agrate的主要加工廠。
意法半導(dǎo)體的傳感器產(chǎn)品包括MEMS(微機(jī)電傳感器,包括加速度計(jì)、陀螺儀、數(shù)字羅盤、慣性模塊、壓力傳感器、濕度傳感器和麥克風(fēng))、智能傳感器、Sensor Hub、溫度傳感器和觸摸傳感器。
相關(guān)產(chǎn)品:6軸MEMS慣性傳感器模塊LSM6DSL和LSM6DSM
Top1:Robert Bosch(羅伯特·博世)
羅伯特·博世有限公司(Robert Bosch GmbH)是一間總部位于德國格爾林根的電子工程跨國公司,由羅伯特·博世于1886年創(chuàng)建。博世是德國最大的工業(yè)企業(yè)之一,從事汽車技術(shù)、工業(yè)技術(shù)和消 費(fèi)品及建筑技術(shù)的產(chǎn)業(yè)。1886年年僅25歲的羅伯特·博世先生在斯圖加特創(chuàng)辦公司時(shí),就將公司定位為“精密機(jī)械及電氣工程的工廠”。
博世1909年進(jìn)入中國市場,生產(chǎn)和銷售汽車零配件和售后市場產(chǎn)品、工業(yè)傳動和控制技術(shù)、包裝技術(shù)、電動工具、安防和通訊系統(tǒng)、熱力技術(shù)以及家用電器。博世2014年在中國經(jīng)營著62家公司,合并銷售額達(dá)到521億人民幣。
博世MEMS傳感器于可穿戴設(shè)備、物聯(lián)網(wǎng)等新應(yīng)用,將依整合性與功率表現(xiàn)規(guī)劃相關(guān)產(chǎn)品線,分別為應(yīng)用于傳感器節(jié)點(diǎn)的高整合/高功率MEMS傳感器,用 于穿戴式裝置的高整合/低功率型,搭載于物聯(lián)網(wǎng)標(biāo)簽的單一元件/高功率型,及智慧開關(guān)用單一元件/高功率型,其中,高整合型持續(xù)自3軸朝6軸,乃至于9軸 發(fā)展,功率高低則與具備無線通訊功能有關(guān)。
相關(guān)產(chǎn)品:高智能傳感器解決方案BHV250和BHV160
全球前十名MEMS廠商占據(jù)了大部分市場份額,我們將它們分為兩大類:“氣勢洶洶的悍將”和“苦苦掙扎的巨頭”。“氣勢洶洶的悍將”包括博世、InvenSense、Avago和Qorvo。博世是值得特別注意的,因?yàn)樗悄壳芭琶叭形ㄒ灰患译p市場(汽車和消費(fèi)電子)MEMS公司,并且還具有研發(fā)和量產(chǎn)雙重設(shè)施。“苦苦掙扎的巨頭”包括意法半導(dǎo)體、惠普、德州儀器、佳能、樓氏電子、電裝和松下。這些公司目前正在努力尋找一種有效的增長引擎。此外,還值得一提的是一些“小巨人”,如Qorvo和英飛凌(Infineon),將來很有潛力發(fā)展為“悍將”或“巨頭”。
總結(jié):
1、MEMS傳感器相對傳統(tǒng)的傳感器有很多的優(yōu)勢,廣泛的應(yīng)用在了消費(fèi)類電子、醫(yī)療保健、汽車工業(yè)等行業(yè)。
2、由于MEMS傳感器行業(yè)的品種多達(dá)上萬種,研發(fā)投入過大,單品種的銷量很難放大,所以只有大企業(yè)才能贏利。
3、MEMS傳感器已在消費(fèi)電子產(chǎn)品、汽車工業(yè)、醫(yī)療保健、機(jī)器人及自動化工業(yè)、太空衛(wèi)星、運(yùn)載火箭、航空航天設(shè)備等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,其中消費(fèi)類電子已經(jīng)成為了MEMS傳感器的第一大應(yīng)用市場。
4、汽車領(lǐng)域MEMS傳感器前10大廠商合計(jì)份額接近94%集中度非常高。是因?yàn)槠嚿系氖褂玫陌踩阅芤蟾?,只有少?shù)廠家能達(dá)到要求。
5、消費(fèi)電子是MEMS最大的應(yīng)用市場。Yole Developpement研究報(bào)告預(yù)測,全球MEMS消費(fèi)類傳感器市場將以18.5%的年復(fù)合增長率增長,到2018年將達(dá)到64億美元。廠商的集中度相對較低,是因?yàn)橄M(fèi)類的MEMS傳感器要求較低。
6、2015年MEMS傳感器市場規(guī)模達(dá)到146億美元,預(yù)計(jì)到2020年,MEMS市場產(chǎn)值將以12%~13%的復(fù)合增長率增長至300億美元,單位出貨量達(dá)到23.5億。
7、MEMS傳感器在低端消費(fèi)電子的應(yīng)用也很大,如一些低端手機(jī)、可穿戴式設(shè)備,中國的MEMS傳感器與國際大公司還是有差距,中國MEMS企業(yè)未來在中低端的消費(fèi)類市場還是有機(jī)會。
8、國家對MEMS傳感器行業(yè)的政策支持力
微米量級的特征尺寸使MEMS傳感器可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實(shí)現(xiàn)的功能。是微型傳感器的主力軍,正在逐漸取代傳統(tǒng)機(jī)械傳感器。