近期，先進制造技術領域在京組織專家對863計劃“典型MEMS器件設計制造與應用關鍵技術”主題項目“雷電預警傳感器及系統”課題進行了驗收。課題開展了大氣電場探測及雷電預警傳感器研究，突破了MEMS電場傳感器設計、制造、封裝、測試、可靠性等關鍵技術，研制出系列化微型電場傳感器，顯著提高了傳感器的靈敏度，提高了電場測量的精度和可靠性，提高了器件成品率和一致性。研制出的大氣電場地面探測裝置和空中電場探測系統，已在我國衛星發射基地大氣電場探測系統、國家電網雷電預警系統、地面氣象監測、大型石化煉廠雷電監測與預警系統等多個領域得到示范應用。課題研究成果推動了我國微型電場傳感器及其相關行業的技術進步，具有廣闊應用前景。