而近日,全球知名半導體研發中心——IMEC,即比利時微電子研究中心宣布了一項新技術,他們成功制造了目前全球最小的SRAM芯片,面積縮小24%,未來可適用于5nm制程節點。
此前,全球最小的SRAM芯片是由三星制造的6T 256Mb SRAM芯片,面積只有0.026平方毫米,而IEMC本次制造的新一代6T 256Mb SRAM芯片核心面積只有0.0184平方毫米到0.0205平方毫米,相比三星的SRAM微縮了24%。
之所以新一代芯片能夠做到如此小的面積,原因在于IEMC采用了更簡單的結構設計,并且使用新的晶體管結構,同時加入了垂直型環繞柵極(Surrounding Gate Transistor,簡稱SGT)結構,柵極間距僅為50nm,這與以往的水平型GAA晶體管相比,能夠縮小20-30%的面積,同時在工作電壓、漏電流及穩定性上表現更佳。
半導體制程發展中,柵極間距與邏輯單元高度是兩個非常重要的指標,它們直接影響著半導體芯片單位面積內的晶體管密度,而晶體管密度大小也是決定芯片性能的重要因素。此外,工作電壓與漏電流也是衡量制程工藝的標準參數之一,更低的漏電率也是制程發展中需要考慮的問題。