EUV透過高能量、波長短的光源,解決既有顯影技術瓶頸,是先進制程發展的關鍵設備,一臺要價1億歐元,晶圓代工廠導入EUV量產的時程,被業界視為技術領先的關鍵。
臺積電明年領先群雄,率先導入EUV量產,意味再次棒打英特爾、三星等勁敵,晶圓代工龍頭地位屹立不搖。
臺積電董事長魏哲家證實,臺積電導入EUV的7納米強化版(7+)將于明年第2季量產,是全球首家采用EUV為客戶量產芯片的晶圓代工廠。
稍早三星曾宣布取得蘋果部分處理器訂單,并宣稱是全球第一家在7納米導入EUV量產的半導體廠。魏哲家此言等于打臉三星,宣示臺積電技術含金量遠高于同業,凸顯臺積電在先進制程已贏得全球芯片大廠信任。
魏哲家不愿透露首批導入EUV設備量產客戶,強調有多個產品導入7+FFT先進制程將會量產。據悉,臺積電將把EUV應用于2020年量產的5納米制程,并開始應用于3納米制程技術開發,業界預期,臺積電挾EUV領先量產優勢,將橫掃5G、AI等訂單。