集成電路制造是集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的核心組成部分,掌握先進(jìn)的集成電路制造技術(shù),對(duì)提升我國集成電路產(chǎn)業(yè)的技術(shù)水平,乃至整體信息通信產(chǎn)業(yè)的技術(shù)水平,都具有重要的戰(zhàn)略意義。大力發(fā)展集成電路制造,擴(kuò)大產(chǎn)業(yè)規(guī)模和提升工藝技術(shù)水平,是發(fā)展我國集成電路產(chǎn)業(yè)的重要任務(wù)。
黨的十八大以來,我國集成電路產(chǎn)業(yè)進(jìn)入了新一輪的高速發(fā)展期。2014年國務(wù)院發(fā)布了《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》,隨后國家集成電路領(lǐng)導(dǎo)小組和產(chǎn)業(yè)投資基金相繼成立。國家進(jìn)一步扶持發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè),特別是重視集成電路制造業(yè)的戰(zhàn)略布局,對(duì)國內(nèi)集成電路制造業(yè)的快速發(fā)展起到了積極的推動(dòng)作用。經(jīng)過五年的不懈努力,目前我國集成電路制造業(yè)綜合實(shí)力大幅增強(qiáng),產(chǎn)業(yè)規(guī)模突破千億元,投資建廠和產(chǎn)能擴(kuò)充持續(xù)加速,先進(jìn)制造工藝和特色工藝取得顯著進(jìn)展,存儲(chǔ)器戰(zhàn)略布局初步完成,產(chǎn)業(yè)協(xié)同效應(yīng)和集聚效應(yīng)日趨明顯。
產(chǎn)業(yè)規(guī)模五年翻番
根據(jù)中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì),2012年我國集成電路制造業(yè)銷售額為501億元,占整體集成電路產(chǎn)值比重的23.2%。2012至2016年五年間,集成電路制造業(yè)產(chǎn)值年均增速為22.5%,超過集成電路產(chǎn)業(yè)年均增速3.5個(gè)百分點(diǎn)。2016年,我國集成電路制造業(yè)銷售額首次突破千億元大關(guān),達(dá)到了1127億元,同時(shí)在整體集成電路產(chǎn)值中的比重上升到了26.0%。2017年上半年,我國集成電路制造業(yè)繼續(xù)保持了良好的成長勢頭,在全行業(yè)中增速最快,同比增長25.6%,產(chǎn)業(yè)規(guī)模達(dá)到571億元。
近五年我國集成電路制造業(yè)高速增長的原因,一是由于全球電子信息產(chǎn)業(yè)回暖,市場對(duì)集成電路的需求持續(xù)穩(wěn)定增長,集成電路生產(chǎn)線基本處于滿產(chǎn)狀態(tài)。二是由于國家對(duì)集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展愈加重視,相關(guān)政策措施陸續(xù)出臺(tái),尤其是國家集成電路基金發(fā)揮了撬動(dòng)作用,進(jìn)一步推動(dòng)了集成電路制造企業(yè)的積極投資擴(kuò)產(chǎn)。三是由于我國是全球最大的集成電路消費(fèi)市場,加上產(chǎn)業(yè)政策利好,全球集成電路制造業(yè)產(chǎn)能逐漸向我國進(jìn)行轉(zhuǎn)移。
投資建廠步伐顯著加快
根據(jù)賽迪智庫集成電路所統(tǒng)計(jì),截至2012年年底,我國已建成的6英寸以上集成電路生產(chǎn)線共有41條,其中12英寸生產(chǎn)線6條,8英寸生產(chǎn)線15條,6英寸生產(chǎn)線20條。經(jīng)過五年的發(fā)展,截至2016年底,我國已建成的6英寸以上集成電路生產(chǎn)線共有82條,其中12英寸生產(chǎn)線11條,8英寸生產(chǎn)線22條,6英寸生產(chǎn)線49條。與此同時(shí),目前正在建設(shè)中的12英寸生產(chǎn)線多達(dá)14條。
除英特爾、三星、SK海力士、臺(tái)積電、聯(lián)電、格羅方德等外商積極投資新建或擴(kuò)建之外,中芯國際、華虹集團(tuán)等本土企業(yè),也紛紛加快了產(chǎn)能的擴(kuò)張步伐。2016年中芯國際連續(xù)宣布在上海和深圳建設(shè)12英寸生產(chǎn)線,建成后預(yù)計(jì)新增月產(chǎn)能11萬片;另外中芯國際還將天津廠月產(chǎn)能由4.5萬片擴(kuò)大至15萬片,擴(kuò)充產(chǎn)能后天津廠將成為全球單體最大的8英寸生產(chǎn)線。2016年12月,華力微電子和長江存儲(chǔ)同時(shí)啟動(dòng)了12英寸生產(chǎn)線項(xiàng)目開工建設(shè),其中華力微電子二期項(xiàng)目主要面向先進(jìn)工藝,長江存儲(chǔ)則主要面向3DNAND閃存。2017年8月,華虹集團(tuán)宣布將在無錫建設(shè)12英寸生產(chǎn)線以及相關(guān)配套設(shè)施,一期項(xiàng)目月產(chǎn)能4萬片。
工藝技術(shù)能力快速提升
經(jīng)過五年的發(fā)展,目前我國集成電路制造企業(yè)的工藝技術(shù)水平已提升至28納米,與全球先進(jìn)水平的差距逐漸縮小,設(shè)備材料國產(chǎn)化比例全面提升。與此同時(shí),我國的集成電路特色工藝水平和技術(shù)能力也大幅增強(qiáng),存儲(chǔ)器工藝技術(shù)研發(fā)取得一系列顯著進(jìn)展。
先進(jìn)工藝方面,目前12英寸生產(chǎn)線的65/55納米、45/40納米、32/28納米工藝產(chǎn)品已經(jīng)量產(chǎn),16/14納米關(guān)鍵工藝技術(shù)已展開研發(fā)并取得一定的技術(shù)突破和成果。8英寸生產(chǎn)線的技術(shù)水平覆蓋0.25微米~0.11微米,6英寸生產(chǎn)線的技術(shù)水平覆蓋1.0微米~0.35微米。
特色工藝方面,各種工藝模塊及IP核數(shù)量都在不斷增加和完善,華虹宏力、中芯國際、華潤微電子等企業(yè)在嵌入式閃存、BCD電路、鍺硅MOS/HBT、LDMOS、高壓IGBT、高壓SOI、CMOS圖像傳感器、MEMS等領(lǐng)域都已具備加工能力。
存儲(chǔ)器工藝方面,2016年中芯國際與Crossbar公司簽訂了戰(zhàn)略合作協(xié)議,共同開發(fā)40納米CMOS工藝的阻變式存儲(chǔ)器芯片(RRAM),布局下一代存儲(chǔ)產(chǎn)品。2017年長江存儲(chǔ)研發(fā)的3DNAND閃存,其堆棧層數(shù)達(dá)到了32層,并通過了電學(xué)特性等各項(xiàng)指標(biāo)測試和技術(shù)驗(yàn)證。
做大做強(qiáng)我國IC制造業(yè)
隨著云計(jì)算、大數(shù)據(jù)、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能等新興應(yīng)用的興起,市場驅(qū)動(dòng)要素正在發(fā)生轉(zhuǎn)折。同時(shí),隨著摩爾定律逐漸逼近極限,技術(shù)演進(jìn)速度明顯放緩,我國集成電路制造企業(yè)作為追趕者,正在迎來寶貴而又短暫的時(shí)間機(jī)會(huì)窗。未來五年,是全球集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重大轉(zhuǎn)型期,同時(shí)也是我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要戰(zhàn)略機(jī)遇期和攻堅(jiān)期。《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》已經(jīng)為我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展制定了清晰明確的宏偉藍(lán)圖,要完成這一目標(biāo),我們應(yīng)抓住產(chǎn)業(yè)變革機(jī)遇,聚焦解決產(chǎn)業(yè)發(fā)展過程中存在的核心問題,增強(qiáng)骨干企業(yè)競爭力,促進(jìn)我國集成電路制造業(yè)快速健康發(fā)展。
一是堅(jiān)持長期穩(wěn)定和充分投入。通過持續(xù)發(fā)揮國家基金的引導(dǎo)作用,不斷完善產(chǎn)業(yè)生態(tài)和產(chǎn)業(yè)發(fā)展環(huán)境,增強(qiáng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展信心,拓寬集成電路制造企業(yè)資金來源渠道,解決其融資難、融資成本高、產(chǎn)業(yè)鏈和生態(tài)鏈不協(xié)同等問題,避免投入不足或投入不持續(xù),從而激發(fā)企業(yè)和產(chǎn)業(yè)的內(nèi)生動(dòng)力,形成良性循環(huán)。
二是進(jìn)一步擴(kuò)大產(chǎn)能規(guī)模和提升工藝技術(shù)水平。持續(xù)推進(jìn)先進(jìn)工藝、特色工藝和存儲(chǔ)器生產(chǎn)線建設(shè),不斷通過新建、收購等各種方式,加快形成產(chǎn)能規(guī)模。同時(shí)通過創(chuàng)新發(fā)展、產(chǎn)學(xué)研用合作,加快工藝開發(fā),完善和優(yōu)化28納米及以上工藝節(jié)點(diǎn)產(chǎn)品組合,在16/14納米甚至10/7納米領(lǐng)域盡快形成突破,在化合物半導(dǎo)體等部分領(lǐng)域形成獨(dú)特優(yōu)勢。
三是持續(xù)打造骨干企業(yè)競爭力。整合行業(yè)資源,聚焦重點(diǎn)優(yōu)勢企業(yè),努力實(shí)現(xiàn)企業(yè)主體集中,打造具有全球競爭力的集成電路航母企業(yè),形成規(guī)模經(jīng)濟(jì)效益。但在骨干企業(yè)的生產(chǎn)線布局上,可以根據(jù)上下游產(chǎn)業(yè)集聚和地方特色等實(shí)際情況,在多個(gè)地區(qū)進(jìn)行投資設(shè)廠,以充分發(fā)揮地緣資源優(yōu)勢,降低企業(yè)投資和運(yùn)營成本,增強(qiáng)企業(yè)在區(qū)域市場和終端市場的影響力。
四是努力推動(dòng)企業(yè)和國內(nèi)市場需求對(duì)接。我國是全球最大的集成電路消費(fèi)市場,同時(shí)我國集成電路設(shè)計(jì)企業(yè)的實(shí)力也正在不斷地提升,這為集成電路制造業(yè)未來的發(fā)展提供了良好的基礎(chǔ)。面對(duì)國內(nèi)市場的需求,我國集成電路制造企業(yè)需要一方面對(duì)先進(jìn)工藝技術(shù)加快追趕,形成在高端芯片領(lǐng)域的服務(wù)能力;另一方面要不斷深挖國內(nèi)市場需求,形成在成熟工藝和特色工藝上的競爭能力。