中國電子專用設備工業協會秘書長 金存忠

在中央擴大內需、穩增長、淘汰落后產能的各項政策的推動和國家科技專項的支持下，中國一批12英寸、90~28nm制程集成電路晶圓設備成功進入國內外大規模集成電路主流生產線，集成電路國產設備在市場化大生產中得到充分驗證，國產設備技術和市場競爭力邁上了一個新臺階。

半導體設備廠商

銷售收入持續增長

根據中國電子專用設備工業協會對國內35家主要半導體設備制造商的主要經濟指標統計，2016年半導體設備完成銷售收入57.33億元，同比增長21.5%，比2015年增速提高了5.1個百分點。2016年半導體設備完成出口交貨值7.84億元，同比增長18.4%。2016年實現利潤總額14.28億元，同比增長35.6%，比2015年增速加快了25個百分點。其中，十強單位的增長更加明顯，2016年中國半導體設備十強單位完成銷售收入48.34億元，同比增長28.5%，比2015年增速增加了3.5個百分點。2016年中國半導體設備十強企業完成出口交貨值6.94億元，同比增長12.7%。

國產高端集成電路設備技術和市場競爭力邁上了一個新臺階。2016年中芯國際北京廠使用國產集成電路晶園設備加工的12英寸正式產品晶圓突破1000萬片次，這標志著集成電路國產設備在市場化大生產中得到充分驗證。2016年12英寸晶圓先進封裝、測試生產線設備實現國產化，生產線設備國產化率可達到70%以上。2016年國產集成電路設備技術和市場競爭力邁上了一個新臺階。

在中國新建12英寸集成電路晶園生產線的推動下，經過主流生產線驗證的國產集成電路設備將迎來發展的新機遇。預計2017年主要半導體設備制造商銷售收入將增長25%左右，達到74億元左右。

高端半導體設備領域

需要取得突破

中國半導體設備行業存在的主要問題是高端半導體設備市場占有率較低。目前，我國大規模集成電路芯片生產線設備大部分仍然依賴進口，國產設備市場占有率較低。2016年中國大陸半導體設備進口額達到64.6億美元，國產半導體設備銷售額僅占當年中國半導體設備進口額13%。

問題存在的主要原因，一是由于高端電子專用設備知識產權壁壘很高，大部分國內企業缺乏高端人才組成的領軍團隊，企業轉型升級難度較大，開發適應市場需求的創新產品緩慢；

二是一些市場熱銷的高端半導體設備已為進口設備占領，而使用國產高端電子專用設備要比使用進口設備承擔更大的風險責任，國產高端半導體設備的推廣應用難度較大。未來，我國應克服上述問題，在高端半導體設備領域取得突破。