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國內集成電路ALD設備進駐上海集成電路研發中心
近日,由北方華創下屬子公司北方華創微電子自主研發的國內首臺12英寸原子層沉積(AtomicLayer Deposition,ALD)設備進駐上海集成電路研發中心。
物理氣相沉積 研發中心
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